פירומטר חדש ומדויק
דגם חדש של פירומטר - מכשיר אופטי למדידת טמפרטורות גבוהות (OFT) - בשם סקידנקו 4100T (Sekidenko) הושק על ידי המפתחת שלו, חברת אדוואנסד אנרג'י (Advanced Energy). החברה מספקת פתרונות מדויקים בהנדסה מתקדמת של מדידה, בקרה והמרת כוח. המכשיר החדש יחליף את הדגם OR4000T המצליח, גם הוא של חברת אדוואנס אנרג'י. המכשיר החדש מספק רמת דיוק גבוהה במיוחד, טווח טמפרטורות רחב יותר ומקסימום של מהירות קריאה רב-ערוצית סימולטנית בעבור יישומים מתקדמים בשדה המוליכים למחצה והסרט הדק.
המכשיר מודד את הקרינה האולטרה-אדומה שאובייקט כזה או אחר פולט, וממיר את המידע לנתוני טמפרטורה שמישים (כלומר מתרגם אותו למעלות צלזיוס או פרנהייט). טווח הטמפרטורות שלו הוא 3,500-60. אפשר לבצע בו קונפיגורציה למגוון של אורכי גל למדידה בהתבסס על החומרים שמרכיבים את האובייקטים הנמדדים, טווח הטמפרטורות בתהליך העיבוד הרלוונטי והמרחק שממנו מתבצעת המדידה. הרב-ערוציות של המכשיר מאפשרת ביצוע של ארבע מדידות עם חיישנים אופטיים נפרדים שמחוברים על ידי כבלים אופטיים. מסך מגע מובנה במכשיר מאפשר להתאים את הקונפיגורציה ללא צורך במחשב.
"הפירומטרים של אדוואנסד אנרג'י משמשים יצרני ציוד בתחום המוליכים למחצה בשל הביצועים המובילים שלהם בתעשייה... הם מאפשרים ללקוחותינו להגיע לרמות חסרות תקדים של שליטה בתהליך", אמר ג'ף הב (Jeff Hebb), סגן נשיא החברה לשיווק ויישומים, לחישה ובקרה חיוניים. הוא גם אמר שהמכשיר תומך ב-EtherCAT ובתקשורת סריאלית ו-USB.
אפשר למדוד סימולטנית עד ארבע טמפרטורות באמצעות הפירומטר החדש. כך פוחת מספר קופסאות הבקרה הנחוצות לבקרה רב-נקודתית. שיעור הקריאה הגבוה של עד 1 kHz מאפשר תגובה תרמית מהירה יותר לבקרה ואחידות טמפרטורה משופרת ביישומים מתקדמים כגון עיבוד תרמי מהיר, ריתוך בלייזר וטכנולוגיות ריבוץ מתקדמות.
אפשר לבצע במכשיר 4100T קונפיגורציה של אורך הגל כדי להתאימו ליישום ספציפי. כאשר צריך למדוד טמפרטורות של וואפרים (פרוסות סיליקון), חשוב להימנע ממגע פיזי עם האובייקט שמודדים שכן המגע עלול לגרום נזק לוואפר, או לזהם אותו או לפגוע ברמת הדיוק של הבדיקה בשל השפעות של מעבר חום. 4100T מודד ישירות עם טווח טעות של 1.5 מעלות צלזיוס יותר או פחות, ללא כל מגע עם האובייקט. המכשיר טוב גם למקרים שהוואפר נמצא בתנועה או שהוא מעובד בטמפרטורות גבוהות מאוד.
