מערכת חריטת מוליכים מתקדמת

חברת Lam Research האמריקנית הכריזה על השקת אקארה (Akara®), מערכת חריטת המוליכים המתקדמת ביותר שנראתה עד כה בשוק השבבים. Akara, טוענים בחברה, היא פריצת דרך טכנולוגית עם יכולות בקרה ייחודיות בפלזמה ומערכת של טכנולוגיות קנייניות חדשות, המאפשרות לראשונה עיבוד ברזולוציית אנגסטרום - שלב קריטי לייצור שבבים תלת־ממדיים.

Akara מרחיבה את ההובלה ארוכת השנים של Lam בתחום חריטת המוליכים וממשיכה מסורת של חדשנות שהתבטאה בכלי החריטה המצליחים ממשפחת Kiyo®, שנמצאים כבר יותר מ־20 שנה בייצור תעשייתי ומופעלים ביותר מ־30,000 תאים פעילים ברחבי העולם. לדברי סשה ורדראג'ן, סגן נשיא בכיר בקבוצת המוצרים של Lam, "אקארה היא קפיצה דורית קדימה, עם יכולות חסרות תקדים ליצירת מבנים זעירים ומורכבים בדור החדש של שבבים תלת־ממדיים."

המערכת מיועדת לייצור טרנזיסטורי Gate-All-Around (GAA), התקני DRAM מתקדמים וזיכרונות 3D NAND - כולם מצריכים חריטה ברמות דיוק שטרם נראו, תוך הסתמכות על תהליכי ליתוגרפיה מתקדמים במיוחד (EUV). אקארה מביאה לראשונה בקרה על פלזמה בקצב תגובה הגבוה פי מאה מהפתרונות המסורתיים, בזכות טכנולוגיית DirectDrive®, המקור הפלזמטי המוצק הראשון בתעשייה.

בין החידושים במערכת:

• TEMPO plasma pulsing: שליטה מתקדמת בהרכב הפלזמה לדיוק חסר תקדים וסלקטיביות גבוהה.
• SNAP: מערכת ייחודית לשליטה באנרגיית היונים, שמאפשרת חריטה בעיצוב אטומי ומיטוב הפרופיל של חריטה לכל התקן ושבב.
• Sense.i® platform: פלטפורמת הייצור החכמה של Lam, הכוללת מערכות חכמות לאוטומציה, לתחזוקה ולמקסום תפוקת פרוסות.

המכשיר כבר נבחר על ידי יצרניות שבבים מובילות ככלי ייצור למוצרי DRAM מתקדמים ולתהליכי GAA בפאונדריז חדשניים. לקוחות החברה מדווחים על שיפור ניכר ביכולת לייצר מבנים מורכבים ומדויקים, על הזמנות חוזרות וגידול מהיר במיתקני ייצור פעילים.

בד בבד Lam Research הכריזה על ALTUS® Halo, מערכת ראשונה בתעשייה להנחת שכבות אטומיות של מוליבדן, המיועדת לדור הבא של התקני זיכרון ותשתיות שבבים.

ד"ר Y.J. מיי, סמנכ"ל תפעול וסגן נשיא בכיר בחברת TSMC, הדגיש כי "יכולות חריטה מתקדמות קריטיות לפתרון אתגרי הייצור בדורות המתקדמים של השבבים."

חברת Lam Research, שמשרדיה הראשיים בפרמונט שבקליפורניה, היא מספקיות הציוד החשובות בעולם לייצור פרוסות סיליקון ומערכות חריטה. כמעט כל שבב מתקדם עובר כיום לפחות שלב ייצור אחד בציוד של החברה. Lam מתגאה בהנדסה חדשנית, בתרבות ארגונית חזקה ובמחויבות עמוקה ללקוחותיה.

המערכת החדשה Akara מסמלת את כיוון ההתפתחות של תעשיית השבבים - דור חדש של מערכות המשלבות שליטה אטומית, אוטומציה ותפוקה תעשייתית, עם מיקוד בחדשנות מתמדת לייצור שבבים קטנים, חזקים וחסכוניים יותר.

לפרטים נוספים